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巴中如何對無塵室微粒子濃度控制方案

admin 2020-08-28 17:24:36 閱讀


如何對無塵室微粒子濃度控制(control)方案
10-100萬級無塵室,其空氣潔凈室必須得到有效控制(control)才能發揮潔凈室的作用,但是如何控制無塵室內微粒子濃度的控制呢?這是潔凈室工程師思考的問題。通常來講,無塵室的浮游微粒子濃度,若用高性能的送風系統即可達到零水平,然而實際的生產(Produce)現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,故造成了元件清潔面的粒子污染。
無塵室內如何控制(control)微粒子濃度呢?
1、不攜入:人、機、料進無塵室不攜入微粒子
(1)進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等, 再通過風淋室吹淋,高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子,吹淋完畢才能進入無塵室。潔凈度檢測潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。凈化車間檢測換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
(2)機器、材料進無塵室前,應盡可能(maybe)在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經貨淋室吹淋或風淋傳遞(transmission)窗吹淋后才能進入無塵室。靜壓差由于層流流量計適用于層流流動狀態,從流體力學的角度分析是適用于低雷諾數下的流動。流 體在流動過程中粘性力占主導地位。 由于粘性力的影響,流體在流動過 程中將造成壓力能的損耗,使壓力 下降。在穩定流動過程中,流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關系。
(3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
2、不發生:無塵室內動態環境下機、料的不發生控制(control);
在控制(control)最大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時,所產生 的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到最小限度應采取以下對策:
(1)減少接觸剝離發塵的動作形態(pattern);
(2)采用磨耗發塵小的材質;
(3)采用發塵小的潤滑油;
3、不儲備:
現實中人和物品的頻繁(frequency)出入及機臺的掣動(動態),無塵室要想達到動態潔凈級別,因此“不儲備”技術快速地在過濾器(作用:過濾雜質等)中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
控制(control)氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(pattern)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進 行除電。
4、排除/除去
在無法避免大量微粒子發生的機臺中,為了不讓無塵室內產生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:
由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源(解釋:向自然界提供能量轉化的物質)消耗(consume)。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能(maybe)地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。
公司專業生產初中高效空氣過濾器(作用:過濾雜質等),FFU,風淋室,高效送風口,新風凈化器等空氣凈化設備,提供無塵車間,凈化廠房設計與施工。服務于生物制藥,微電子,食品化妝品,航空航天等行業。專注為客戶打造高端潔凈室凈化工程,提供一流的服務品質(Character)和優惠的潔凈室價格,潔凈工程造價合理實惠,歡迎大家了解。
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